半導体製造装置向け大型アルミスペーサー

品名 | 半導体製造装置向け大型アルミスペーサー |
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製品分類 | スペーサー |
材料分類 | アルミ |
材料 | A5052 |
加工分類 | 機械加工+表面処理 |
業界 | 電子・半導体 |
月産数 | 1 |
概要
こちらは、半導体製造装置向け大型アルミスペーサーの事例です。この部品は非常に薄く、平面度や並行度が厳しい仕様であり、心臓部に近い重要な部品です。
この案件に対応するため、当社では5軸制御複合立型旋盤VTM1200を使用して高精度な旋盤加工を実施し、その後に穴・タップ加工も施しました。
加工対象の部品のサイズ・板厚は15mmです。
既存のお客様からの依頼で、高精度な加工が求められました。
当社の強みは、中型の高精度丸物加工で、通常2工程が必要な加工をドリル・タップ・リーマ加工を1段取りで対応可能です。
「なるべく低コストで作りたい」というご依頼に応じて、平面度・平行度を研磨レスで挑戦しました。多少の難しさはありましたが、段取りや工具(刃物)の工夫により、これを見事にクリアしました。
中央の穴から外周の同軸度、各穴の位置度の達成には、機械を高精度に保ち、工場環境を恒温にすることが最低条件です。当社はこうした環境整備にも力を入れ、その成果を自負しております。
製品が薄物であるため、平面度を出すことには特に苦労しましたが、アルミ加工に特化した社員の技術力によってこの課題も克服しました。
今後も、より確実に精度を達成するための努力を続けてまいります。アルミの高精度加工は、ぜひ泰東精密にお任せください。