半導体装置向け真空チャンバー
品名 | 半導体装置向け真空チャンバー |
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製品分類 | チャンバー |
材料分類 | アルミ |
材料 | A5052 |
加工分類 | 機械加工+表面処理 |
業界 | 電子・半導体 |
サイズ | 1300×1500 |
概要
こちらは、半導体製造装置のチャンバー向けに製作した事例です。材質はA5052を使用し、サイズは1,300×1,500で、大型製品の製作となります。
ヘールバイト加工によるシール面の精度加工を施し、品質の安定性を確保しました。その結果、組立工程までスムーズに進めることができました。
当社の強みは、大小さまざまな径に柔軟に対応できることです。
これを可能にするのは、工具の選定と加工に関する豊富なノウハウ、そして材料との組み合わせを考慮した加工技術です。
また、お客様(設計者)のご要望によって、手仕上げでも柔軟に対応できます。
大型製品の製作の際はお気軽にお問い合わせください。