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半導体製造装置向け大型アルミスペーサー

品名 半導体製造装置向け大型アルミスペーサー
製品分類 スペーサー
材料分類
材料 S50C
加工分類 機械加工
業界 電子・半導体
月産数 12
サイズ φ800
板厚 15mm

概要

こちらは、半導体製造装置向け大型アルミスペーサー製作の事例です。
レンズ周りの位置に組付けされる用途で、製品サイズはφ800、厚みは15mmです。
お客様から薄くて平面度、並行度が高精度な仕様でご依頼をいただきました。当社設備の5軸制御複合立型旋盤VTM1200を使用して旋盤加工、穴・タップなどのマシニング加工を施しました。

本来の段取りでは2工程必要ですが、当社での5軸加工機では旋盤加工とドリルタップ加工が1段取りで対応可能ですので、効率的かつ高精度なモノづくりが可能です。

お客様から低コストで対応してほしいという依頼があったため、研磨レスで対応しました。多少の難しさはありましたが、段取りや工具(刃物)の工夫などで見事クリアできました。
中央の穴から外周の同軸度、また各穴の位置度の達成は機械を高精度に保つことや工場の環境を恒温にしなければならないことが最低条件です。
そういった環境整備にも力を入れた成果だと自負しております。製品が「薄物」になる為、平面度を出すことに苦労しましたが、特にアルミ加工が得意な社員によってクリアしました。
当社は大型の高精度丸物旋盤加工を得意としていますので、大型加工をご検討の方は是非ご相談ください。