大型半導体装置向け真空チャンバー
品名 | 大型半導体装置向け真空チャンバー |
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製品分類 | チャンバー |
材料分類 | アルミ |
材料 | A5052 |
業界 | 電子・半導体 |
サイズ | φ1200 |
板厚 | 250mm |
概要
こちらは、大型半導体装置向け真空チャンバーの事例です。材質はA5052を使用してサイズはΦ1200×板厚250㎜です。
この加工では、材料調達から旋盤加工→マシニング加工→仕上げ加工という工程を一貫対応しています。
5軸制御縦型複合旋盤を使用しているため、5軸制御により、複雑な形状のワークを一度の取り付けで高精度に加工することが可能です。
また、複数の面や角度を一貫して加工できるため、精度の高い製品が得られ、柔軟性があります。
加工対象のワーク(素材)を固定する方法を最適化するため、クランプ方法を工夫して対応したり、磨きの精度をあげるよう対応したり、お客様の仕様を満たすため、様々な調整を実施しています。
ご検討の際は是非ご相談ください。